Açıklama
Kurt J. Lesker Company® PRO Line PVD 75, PVD 75 platformunu temel alan yeni nesil ince film biriktirme sistemidir. Dünya çapında 400’den fazla ünite ile hizmet veren PVD 75, kendini kanıtlamış, sağlam ve çok yönlü bir tasarımdır. PRO Line PVD 75, geliştirilmiş sistem taban basınçları ve pompa duruş süreleri ile orijinal tasarımın başarıları üzerine inşa edilmiştir. Teknik açıdan üstün bir hazne tasarımı, gelişmiş programlama kabiliyetine sahip sektörün en iyisi bir yazılım kontrol sistemi, otomatik alt tabaka yükleme ve optimize edilmiş ince film performansı için çok sayıda özellik, bu yenilikçi, sınıfının en iyisi tasarımda sunulan temel avantajlardan birkaçıdır.
PRO Line PVD 75 aşağıdaki tekniklerle uyumludur:
Termal Buharlaştırma (dört adede kadar 4″ ayrı tekne veya altı adet 2″ tekne düzeneği)
Torus® Magnetron Püskürtme kaynakları (altı adede kadar 2″ veya 3″ kaynak)
Elektron Işını Buharlaştırma Kaynağı (4 cep 8cc, 8 cep 12cc, 6 cep 20cc)
LTE10 Organik biriktirme kaynakları (en fazla iki)
Yukarıdaki tekniklerin kombinasyonları da mevcuttur.
İstek üzerine özel konfigürasyonlar mevcuttur.
